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電拋光機(jī)身,增強(qiáng)耐腐蝕性。
閥體和氣門彈簧為不銹鋼(SUS304)。主體經(jīng)過電解拋光,增強(qiáng)耐腐蝕性。
密封材料可根據(jù)您的流體和應(yīng)用進(jìn)行選擇,靈活地滿足您的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求。
所有部件都經(jīng)過清潔、組裝、檢查,然后在潔凈室中包裝。
無油脂。密封材料上不涂抹潤滑脂。
每個(gè)插頭都配有防塵蓋。
不銹鋼SUS316閥體和閥彈簧可作為定制產(chǎn)品提供。
1.核心性能與參數(shù):采用雙路開關(guān)閥門結(jié)構(gòu),分離時(shí)自動(dòng)閉合,泄漏量≤0.015mL,能避免高純度流體浪費(fèi)與污染;工作壓力達(dá) 2bar,適配半導(dǎo)體生產(chǎn)的低壓流體傳輸需求。安裝螺紋可選 Rc1/8 等規(guī)格,還支持 UNS 等定制螺紋,搭配 SP 型 1S 插座使用,可滿足不同管路安裝需求,且流體傳輸壓力損失小,保障傳輸效率。
2.材質(zhì)與工藝:主體與閥門彈簧均采用 SUS304 不銹鋼,該材質(zhì)抗拉強(qiáng)度≥515MPa,兼具良好強(qiáng)度與韌性,不易破裂變形。主體經(jīng)電解研磨處理,大幅提升耐腐蝕性,可抵御高純度化學(xué)品侵蝕;密封材質(zhì)選用 PERFLO,適配各類半導(dǎo)體生產(chǎn)常用化學(xué)流體。同時(shí)采用實(shí)心棒料加工工藝,保障接頭結(jié)構(gòu)精度與穩(wěn)定性。
3.應(yīng)用場(chǎng)景與適配性:核心適配半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的高純度化學(xué)品傳輸管路,比如晶圓清洗、光刻膠涂覆等工序的流體輸送。此外還可用于化工高純度試劑傳輸、電子元器件制造中的精密流體管路等場(chǎng)景。能匹配空氣及多種高純度化學(xué)流體,且可與同系列 SP 型插座無縫對(duì)接,適配不同半導(dǎo)體生產(chǎn)線的管路布局需求。
4.技術(shù)優(yōu)勢(shì)與差異化:相比普通接頭,其電解研磨工藝讓耐腐蝕性遠(yuǎn)超未經(jīng)處理的不銹鋼接頭,適配半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛的防污染需求。自帶防塵蓋,搭配 PERFLO 專用密封材質(zhì),形成雙重防護(hù),避免雜質(zhì)進(jìn)入污染流體。且采用免工具插拔設(shè)計(jì),相比傳統(tǒng)螺紋接頭,大幅提升頻繁拆裝場(chǎng)景的作業(yè)效率,同時(shí)內(nèi)置防脫結(jié)構(gòu),振動(dòng)環(huán)境下也能保持連接穩(wěn)固,防止意外脫離。
5.品質(zhì)與售后保障:產(chǎn)品經(jīng)無塵室組裝檢測(cè),符合半導(dǎo)體行業(yè)潔凈標(biāo)準(zhǔn),出廠前經(jīng)過嚴(yán)格的密封性能與耐腐蝕性測(cè)試。售后方面可享受原廠原裝配件供應(yīng)保障,專業(yè)團(tuán)隊(duì)提供遠(yuǎn)程技術(shù)指導(dǎo),解決安裝與故障問題。
6.實(shí)際價(jià)值與案例:實(shí)際應(yīng)用中可減少高純度化學(xué)品泄漏損耗,降低半導(dǎo)體生產(chǎn)的物料成本與環(huán)境污染風(fēng)險(xiǎn),免工具操作也減少生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間,提升整體產(chǎn)能。例如某大型半導(dǎo)體晶圓制造廠將其用于光刻工序的顯影液傳輸管路,通過其高密封性避免顯影液污染,保障晶圓加工良率,同時(shí)頻繁拆裝作業(yè)效率較傳統(tǒng)接頭提升 40% 以上,大幅降低了設(shè)備維護(hù)成本。
型號(hào)尺寸表
插頭

套件

配件

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